| 品牌 | 莱普泰科 | 冷却方式 | 水冷式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 面议 | 产地类别 | 国产 |
| 仪器种类 | 一体式 | 应用领域 | 综合 |
> 产品特点Product Features
智能控温、控温精度+0.1°C，高端+0.05°C，水系统304/316材料抛光处理。
多功能报警保护功能:压缩机延时保护、水温高低温报警、流量报警、过载保护、缺水报警等
采用不锈钢水泵，流量大、扬程高、噪音低、寿命长·根据客户设备配备多种规格进出口接头，方便与客户设备对接
多功能报警保护功能:缺相保护、逆相保护、压缩机过载保护、漏电保护、压缩机延时保护、压缩机超压报警、缺水报警、水温高低温报警、水流报警等
> 应用领域 Application Field
刻蚀机设备、沉积设备、PVD物理气相沉积、光刻机设备、涂料显影、离子注入机、CMP化学机械抛光、炉管/扩散设备、品体生长设备、测量/检测设备、后道封装测试设备，支持各种需求定制。
>技术参数Technical Parameter
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